ПЕРИОДИКА, УЧЕБНИКИ, УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ, МОНОГАФИИ
- Физика микросистем
 - Основы наноэлектроники
- Нанотехнологии в полупроводниковой электронике
- Введение в информационное обеспечение микросистемной техники
- Микромеханические приборы
- Микросистемная техника. Прикладные области применения
- Расчет электромагнитных и температурных полей методом конечных элементов
- Полупроводниковые сверхрешетки: свойства, применение
- Микроактюаторы
- Наноматериалы. Нанотехнологии. Наносистемная техника. Мировые достижения за 2005 год.
- Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам.
- Информация о выпускаемых журналах по НАНО тематике. (new!)
- Организована постояннодействующая Международная научно-техническая конференция «Технология микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике» (new!)
Микромеханические приборы
Распопов В.Я. Микромеханические приборы. Учебное пособие./ Тул. Гос. университет. - Тула, 2002 г. - 392 с.
Изложены вопросы по технологическим основам производства микромеханических приборов, начиная с
описания свойств кристаллов, методов их выращивания и кончая разработкой технологий и конструкций.
Изложены вопросы, связанные с особенностями измерения микроперемещений чувствительных элементов приборов,
как с аналоговым, так и с частотным выходом. Приведен подробный материал по теории и расчету акселерометров
прямого и компенсационного преобразования с монокристаллическим чувствительным элементом. Изложены основы
теории и расчета датчиков давления с мембранными чувствительными элементами. Приведены теория и основы
расчета гироскопов, выполненных по схеме с кардановым подвесом и камертонного типа. Проанализированы
вопросы динамической настройки гироскопов и способов их реализации. Выполнен анализ демпфирования
гироскопов и проведено обсуждение особенностей внутренней электроники гироскопов. Рассмотрены особенности
рынка микромеханических приборов и приведены технические характеристики приборов, выпускаемых иностранными
фирмами и отечественными разработчиками.
Учебное пособие предназначено для студентов вузов. Может быть полезно магистрам, аспирантам и инженерам.
Печатается по решению библиотечно-издательского совета Тульского государственного университета.
|
|
